01/2003 | Sensoren und Mikrosystemtechnik

Erfolgsrezept Mikrosystemtechnik

Fahrspaß und sicheres Fahren, Komfort und Wirtschaftlichkeit, Motorleistung verbunden mit sauberem Fahrzeugbetrieb – diese konträr scheinenden Anforderungen werden in heutigen Fahrzeugen besser denn je vereint. Entscheidenden Anteil haben Sensoren: Sie „erfühlen“ gewissermaßen die Fahrzeugbewegung, den Motorzustand und den Fahrerwunsch. Mit den gemessenen Daten werden die Systemreaktionen präzise ausgeführt.

Die eingesetzten Sensoren arbeiten dabei trotz steter Miniaturisierung immer zuverlässiger, genauer und durch Großserienfertigung wirtschaftlicher. Die Mikrosystemtechnik (MST), die auf Fertigungsmethoden der IC-Technik aufbaut, gewinnt daher rasch an Bedeutung. Über übliche Elektronikfunktionen hinaus integrieren MST-Sensoren feinste mechanische Funktionselemente zum Erfassen physikalischer Größen.

Bosch fertigt bereits 40 Prozent seiner Sensoren in dieser Technik und ist mit rund 70 Millionen Stück pro Jahr einer der größten Mikromechanikhersteller. Die mit beträchtlichen Investitionen verbundene Massenfertigung wurde speziell für die hohen Stückzahlen der Kfz-Sensoranwendungen erschlossen. Das Potenzial reicht aber weit über automobile Sensoranwendungen hinaus. So finden MST-Komponenten bereits heute Eingang in zahlreiche neue Anwendungen, z.B. in der Bio-Analytik, in Consumeranwendungen oder im „Life-Science“-Bereich.